测试项目

接地电阻

表面电阻

体电阻/系统电阻

摩擦电压

屏蔽残余电压

离子平衡度

室内接地母线

与大地之间：＜4Ω

仪器设备、装备、工具

与接地母线之间：

硬接地＜1Ω

软接地

1×106Ω≤ Rg＜1×109Ω

防静电地板

与大地之间：

0.1×106Ω≤ Rg＜1×109Ω

0.1×106Ω≤Rs＜1×109Ω

＜100V

防静电烙铁头

与接地母线之间：

要求＜1Ω

可接受＜20Ω

腕带

人体腕带接地电阻：0.75×106Ω≤Rg≤10×106Ω

腕带内表面电阻： ≤0.1×106 Ω

0.8×106 Ω≤Rv≤1.2 ×106 Ω

工鞋、鞋跟

人体工鞋/鞋跟接地电阻：0.75×106Ω≤Rg≤100×106Ω

0.5×106Ω≤Rv≤50×106Ω

台垫、地垫

0.75×106Ω≤Rg＜1×109Ω

1×106Ω≤Rs＜1×109Ω

1×106Ω≤Rv＜1×109Ω

＜100V

工衣、工帽、手套

0.1×106Ω≤Rs＜1×1010Ω

＜100V

工作椅

＜1×1010Ω

＜1×109Ω

＜100V

防静电周转箱、托盘、器件盒

1×103Ω≤Rs＜1×109Ω

1×103Ω≤Rs＜1×109Ω

1＜100V

防静电周转车

周转车台面对车轮系统电阻： ＜1×109Ω

防静电传送带

0.75×106Ω≤Rg＜1×109Ω

1×106Ω≤Rs＜1×109Ω

1×106Ω≤Rv＜1×109Ω

＜100V

导电材料

＜1×104Ω

＜1×104Ω

＜100V

耗散材料

1×104Ω ≤Rs＜1×1011Ω

1×104Ω≤Rs＜1×1011Ω

＜100V

屏蔽材料

＜1×1011Ω

＜1×1011Ω

＜100V

＜100V

绝缘材料

≥1×1011Ω

≥1×1011Ω

离子风机

静电电压从1000V降低到100V的衰减时间小于2秒

或参照仪器说明书

≤±30V

或参照仪器说明书

显示器

静电感应电压＜100V

防静电液（抗静电剂）

防静电液均匀涂覆绝缘材料表面后其表面电阻应满足1×106Ω≤ Rs＜1×109Ω