首先，非接触式测试仪测量结果受距离、被测试样品的几何尺寸的影响较大，探头和被测样品之间距离的变动将引起很大的测试误差，需要按照仪器说明书规定的测距将探头放置在与被测带电物体表面垂直的某一固定的空间位置上。在被测物体带电电荷量较大时，为避免在测试过程中带电体与探头外壳之间的静电放电，测试时探头应当先从较远位置逐渐接近被测物体；

       远离接地体，被测体是薄片，且背面有接近接地体，有产生ESD放电的危险。

 
       被测样品不是平板，有较大弯曲度时，测试结果就会与它实际所带电压值有较大差别。

 
       尽量减少外界电场对测试信号的影响，常用方法是在探头外加屏蔽套并接地。

 
       最后，还要考虑仪器本身对测量精度的影响，根据《静电电压表校准规范》对仪器定期进行校准和标定。通常测试精度应能测试到正负10Ω的静电电压。

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