静电防护的工艺控制法

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[点击量：3464][来源：创选宝防静电专家（www.esdcxb.com）]

2018-01-08

旨在生产过程中尽量少产生静电荷。为此从工艺流程、材料选择、设备安装和操作管理等方面采取措施，控制静电的产生和积聚，抑制静电电位和静电放电的能力，使之不超过危害程度。如在半导体制造过程中，当高速器件的浅结形成工序完成后，对冲洗用的去离子水的电阻率就必须控制。虽然电阻率越高，洁净效果越好，但电阻率越高，在芯片上产生的静电就越高。因此一般要控制在了略高于8MΩ的水平，而不能是初始工序用的16-17MΩ。还有在材料选择上，包装材料要采用防静电材料，尽量避免未经处理的高分子材料。

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---责任编辑：创选宝P

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